电抛光不锈钢管应用于高纯系统

3.10 电抛光管道系统

3.10.1  凡管道数据表中说明管道和管件的内表面做“电抛光处理”，则管道、管件应 满足下列要求：

3.10.2 电抛光不锈钢管应用于高纯系统。在管焊接完成后，现场安装前，按下列电 抛光要点进行。

3.10.2.1 整个电抛光操作中，短管应尽量避免接触到油污、铁基材料。

3.10.2.2 化学品：化学品应符合 SEMI 标准或者低游离离子级

3.10.2.3 按照 15060 节的要求，使用纯氮气对管道进行干燥。

3.10.2.4 水：按照 15060 节的要求，使用纯水对管道进行清洗。

3.10.2.5 无磷清洗剂：Triton X100, Micro, 或者 Amway LOC。

3.10.3 检查每根管段的粗糙度、管口受损、变形、裂缝或者其它瑕疵。拒收不合格 材料。

3.10.4  检查管道内表面的表面处理是否均匀、洁净。随机抽查。拒收不合格材料。

3.10.5 使用水性除油剂或者无磷清洁剂溶液（用纯水，清洁剂浓度 0.01%）对管段 和管件进行除油。

3.10.6  用水漂洗管道，直到漂洗进出口水电导率相同。

3.10.7  用异丙醇试剂擦拭管道、管件的外表面上的墨迹和污斑。

3.10.8  管道内表面和法兰表面的电抛光应满足下列标准：

3.10.8.1 氧化铬对氧化铁的低比例为 1.8：1。

3.10.8.2 铬对铁的低比例为 1.3：1。

3.10.8.3 表面粗糙程度大为 1.25μmRa。

3.10.8.4 浸润的任何表面没有明显变色或者锈迹。

3.10.8.5  采用硝酸钝化的管道配件表面使用纯水漂洗，直至进出口水的电导率 相同。

3.10.9  用纯氮气干燥管道内表面。

3.10.10 用肉眼检查管道的内表面，看是否有污染、变色等不符合要求的情况。发现 问题并经过再次清洗的管道如果还不能满足要求，在管道上打上“不合格”的标记。 3.10.11 每周采用试板检查氧化铬对氧化铁的比例、铬与铁的比例以及表面粗糙度， 鉴定电抛光工艺是否符合要求。

3.10.12 装运输前，用带有螺栓和密封垫片的盲法兰将管口封堵。用异丙醇试剂擦拭 密封垫片。

3.10.13 在包装的外面打上“已经电抛光”的标记。

3.10.14 进行电抛光前，管道和管件的接头应进行焊接，不能在现场焊接。需现场焊 接的部位应在送审图纸上表示出来，并且要经工程师的特别审核。现场焊接位置应 有操作空间，将钝化溶液涂刷到管道上进行钝化处理。钝化完成之后，用浸润纯水 的洁净室专用抹布擦拭掉残留的钝化溶液。尽量避免那些不能进行钝化的焊接接 头，如果工程师没有特别要求的话，改用法兰连接。

表 1

90 度支管加强圈表

注：1  加强圈的厚度应与管道壁厚相同。宽度（W）是指从支管外径到加强圈外 径的长度（沿支管半径方向）

2  见数据表中本表的适用范围。

3  应遵守 ASME B31.3 和 3.4.3 节的要求。

4 T＝三通；RT＝变径三通（或者是标准三通加上变径管）；SO＝承插接头。